Отображение нанообъектов по сей день остается одной из наиболее трудных и актуальных задач науки и техники. Характерным недостатком существующих методов микроскопии для исследования нанообъектов является отсутствие объемности изображения. Для заполнения этого пробела Санкт-Петербургский государственный университет и Северо-Восточный федеральный университет совместно разрабатывают электронно-голографическую установку для изучения структуры тонких пленок, волокон и макромолекул, работающую в условиях сверхвысокого вакуума. Чтобы получить полную картину исследуемого объекта, используется система грубой и тонкой подвижки. Для получения достоверных и точных данных необходимо повысить точность позиционирования острийного катода относительно исследуемого объекта. Для повышения точности в ходе научной исследовательской работы были созданы чертежи новой тонкой подвижки, создаваемой на основе пьезокерамических трубок серии PT130. Точность грубой подвижки была повышена благодаря использованию абсолютного энкодера M6A2-38F10B-5C-2.5M. Создана функциональная схема для установки Кендроскоп, которая позволила создать программу управления для грубой и тонкой подвижки с обратной связью по оси Z. Программа позволяет управлять процессом в автоматическом и ручном режимах. Благодаря наличию обратной связи по оси Z появилась возможность защиты от протыкания острием исследуемого объекта при приближении и сканировании.
The display of nano objects to this day remains one of the most difficult and urgent tasks of science and technology. The characteristic disadvantages of existing microscopy methods for studying nano objects are the lack of image volume. To fill this gap, together with St. Petersburg State University and Northeastern Federal University, an electron-holographic installation is being developed to study the structure of thin films, fibers and macromolecules, operating under ultra-high vacuum conditions. To get a complete picture of the investigated object, a system of coarse and fine movement is used. In order to obtain reliable and accurate data, it is necessary to improve the accuracy of positioning of the sharp cathode relative to the object under investigation. To improve accuracy, drawings of a new fine movement created on the basis of piezoceramic tubes of the PT130 series were created during scientific research. The accuracy of coarse movement was improved due to the use of the absolute encoder M6A2-38F10B-5C-2.5M. A functional diagram has been created for the Kendroscope installation, which made it possible to create a control program for coarse and fine movement with feedback along the Z axis. The program allows you to control the process automatically and manually. Due to the presence of feedback along the Z axis, it became possible to protect against piercing of the object under study by the tip when approaching and scanning.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.