Для цитирования:

Прокопьев А.Р., Неустроев Е.П. Воздействие тепловой и СВЧ-обработки на свойства аморфных алмазоподобных пленок, полученных осаждением в плазме метана. Вестник Северо-Восточного федерального университета имени М. К. Аммосова. 2022;(2):41-46. https://doi.org/10.25587/SVFU.2022.50.47.004

For citation:

Prokopev A.R., Neustroev E.P. The effect of thermal and microwave treatments on the properties of amorphous dLC-films formed by deposition in CH₄ plasma. Vestnik of North-Eastern Federal University. 2022;(2):41-46. (In Russ.) https://doi.org/10.25587/SVFU.2022.50.47.004