Для цитирования:

Неустроев Е.П., Прокопьев А.Р. Воздействие быстрого джоулева нагрева на свойства углеродных пленок, сформированных осаждением в плазме метана. Вестник Северо-Восточного федерального университета имени М. К. Аммосова. 2025;22(1):37-47. https://doi.org/10.25587/2222-5404-2025-22-1-37-47

For citation:

Neustroev E.P., Prokopiev A.R. Effect of fast Joule heating on the properties of carbon films formed by methane plasma deposition. Vestnik of North-Eastern Federal University. 2025;22(1):37-47. (In Russ.) https://doi.org/10.25587/2222-5404-2025-22-1-37-47